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携手德国米铱
专为国内半导体”硅晶片”
研磨制程研发

快速-适合全检
高精度-纳米级(nm)

测平整度(PV RMS)&厚度机台

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全景图 PV RMS

小分区检测信息

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地型图分类(提高制程良率)

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